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双极性高压稳压电源及高稳定偏转放大器

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摘要离子探针在样品上大范围扫描时,需要比较高的偏转电压,为此我们研制了一台高稳定高压偏转放大器,其输出电压为±400伏,稳定度为5×10^(-6),带宽为25kHz;同时研制了一台纹波小于10mV,输出电流大于50mA的±500伏稳压电源。

作者李荣玉陆家和张志远

机构地区清华大学无线电系真空物理教研室

出处《微细加工技术》 1989年第1期34-36,46,共4页 Microfabrication Technology

关键词偏转放大器稳压电源高压

分类号 TN722.74 [电子电信—电路与系统]

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微细加工技术

1989年第1期

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