微机电系统的机械学特性研究

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摘要目前微机电系统的研究成果主要侧重于制造加工工艺方面,而对微机电系统机械学特性的系统研究则显缺乏。在概述微机电系统发展状况的基础上,归结分析了微机电系统在组成结构、材料特性以及力学行为等方面异于宏观机械的一些新特征,并探讨了微机电系统的机械学特性。

作者赵运才曾纪杰

机构地区中南大学机械工程学院湖南理工学院机电系

出处《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期147-149,162,共4页 Lubrication Engineering

基金湖南省教育厅优青资助项目.

关键词微机电系统机械学特性研究加工工艺研究成果系统研究发展状况组成结构力学行为材料特性

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润滑与密封

2005年第3期

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