摘要
通过对张力测试的分析及传感器的原理分析,介绍一种应用于测试微电子集成电路丝线张力的小量程张力测试机构的设计。
This paper introduces a design of machine in small range tension test which is applied to a field of micro-electronics integrate circuit, by analyzing tasting method and sensor theory.
出处
《机械》
2005年第5期10-11,13,共3页
Machinery
关键词
张力测试
应变传感器
机构
小量程
tension test
strain-gage type force sensor
machine
small range
