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一种新型电容式薄膜测厚仪 被引量:4

A New Kind of Intelligent Capacitive Thin Film Thiekness Measuring Instrument
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摘要 1 引言 随着现代工业生产的高度发展,对塑料薄膜做小厚度的测量提出了新的要求。为此,我们开发了一种采用微机控制、实现动态非接触测量的新型智能式精密电容薄膜测厚仪。该测厚仪采用进口集成电路,其测量线路应用反馈运算方法和驱动电缆技术,使之在测量塑膜厚度时,实现输出电压与膜片厚度的线性关系。
作者 李晶
机构地区 天津大学精仪系
出处 《自动化与仪表》 1994年第1期25-27,共3页 Automation & Instrumentation
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