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光学平移装置行进横向漂移的干涉法测量 被引量:1

The measurement of the transversal shift of an optic-moving stage with interferometer
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摘要 应用泰曼-格林干涉仪测量步进电机控制下光学平移装置行进时的横向漂移,鉴于步进装置行进时的震动和它引起的探头抖动干扰,提出一种基于小波变换滤波的条纹细分技术,以利于信号识别和精确测量. While controlling by a stepping-motor driver, the optic-moving stage is shifting along its axis and the transversal variation can be measured using a Twyman-Green interferometer, owing to the vibration of the apparatus on moving that yields disturbance to the detector, a technique to phase-step division of fringes based on wavelet transform filtering is used here to facilitate signal recognition and precise measurement.
作者 王叶
机构地区 上海大学物理系
出处 《大学物理》 北大核心 2005年第5期46-49,共4页 College Physics
关键词 漂移 干涉条纹 小波变换 variation interference fringes wavelet transform
  • 相关文献

参考文献3

  • 1熊秉衡,王正荣,王虹,张永安.泰曼-格林干涉仪的一种变形及其应用[J].激光杂志,2000,21(4):35-37. 被引量:1
  • 2Donoho D L. De-noising by Soft-thresholding [J]. IEEE Transactions on Information Theory, 1995,41 (3): 613 ~627.
  • 3OEK - 100 Projects in Interferometry [ R]. Newport Corporation, 1993. 3.

二级参考文献3

  • 1陈怀琳,普通物理实验指导(光学),1990年,121页
  • 2葛万福,光学学报,1985年,5卷,7期,600页
  • 3熊秉衡,长沙铁道学院学报,1984年,1卷,4期,47页

同被引文献6

引证文献1

二级引证文献17

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