12MeV电子辐照技术在半导体器件中的应用

ON THE EXISTSENCE OF WEAK SOLUTIONS TO A SYSTEM OF SEMICONDUCTOR EQUATIONS WITH AVALANCHE GENERATION

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摘要较全面地介绍了高能１２ＭｅＶ电子辐照技术的原理、方法、特点以及在快速二极管、晶体管、可控硅中的应用。

作者杭德生

机构地区南京大学物理系

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1995年第1期39-40,43,共3页 Semiconductor Technology

关键词电子辐照半导体器件应用 Semicondctor equations Avalanche generation Mixed boundary value problem Global weak solution

参考文献2

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半导体技术

1995年第1期

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