摘要
简要介绍微系统的含义，主要工艺、发展历史、现状和发展前景。
Implication of the Microsystem, the main technologies, history of development, current status and development perspectives are brifly presented.
出处
《传感器技术》
CSCD
1995年第4期59-64,共6页
Journal of Transducer Technology
关键词
微系统技术
微机械
微电子
微光学
集成化
Microsptem technology Micromachining MicroelectronicsMicroptics Integrations
