可调闭合阈值的微加速度开关

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摘要本文描述利用凸凹翘曲现象的可调加速度开关的设计制造和测试。一套ＳｉＯ２／Ｐ＾＋－Ｓｉ双层晶体梁加工成不同长度８００μｍ、９９０μｍ和１０００μｍ。在加工中，双层晶体梁因两个不同薄膜之间的残余应力差而被弯曲。已测得使每个梁翘曲转换电压分别为３２Ｖ、５６Ｖ、７６．５Ｖ。检测质量为７μｇ的每个微梁开关的阈值加速度，通过在内电极上加０－６７Ｖ的偏置电压，可以在０－１０ｇ、０－２４ｇ、０－３８ｇ范围内调节。

作者殷显安王洋

出处《电子技术参考》 1995年第4期70-78,共9页

关键词加速度开关翘曲转换偏置电压微加工闭合阈值

分类号 TM564.05 [电气工程—电器]

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