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声学微机械技术

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摘要声学微机械技术每年，传声器销售量多达３亿多只，电话、盒式录音机、摄录一体机、个人电脑和助听器是其主要市场。最近在麻省理工学院举行的一个声学会议上，一篇详论比针尖还小的新型硅半导体传声器技术的论文成了会议议论的中心。据测，这些微器件将会有许多应用。从９...

作者程永来

出处《高技术通讯》 CAS CSCD 1995年第1期61-62,52,共3页 Chinese High Technology Letters

关键词传声器微机械技术

分类号 TN912.2 [电子电信—通信与信息系统] TB5 [理学—声学]

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高技术通讯

1995年第1期

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