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12MeV电子辐照技术在半导体器件中的应用

An Application of 12MeV Electron Irradiation in Semiconductor Devices
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摘要 本文较全面地介绍了高能12MeV电子辐照技术的原理、方法、特点以及在快速二极管、开关晶体管,快速可控硅中成功的应用. This article gives complete introduction to the principles, method and traits of the technology of the high-energy 12MeV electron irradiation. It also describes a successful application in fast diode, switch transistor and fast SCR.
作者 杭德生
机构地区 南京大学物理系
出处 《核物理动态》 CSCD 1995年第2期67-68,40,共3页
基金 "工业加速器及其辐照应用"国家产 研重点工程项目
关键词 高能电子 快速二极管 开关晶体管 电子辐照 high-energy electron fast diode switch transistor fast SCR the lifetime of minority.
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参考文献1

二级参考文献1

  • 1杭德生.12MeV电子辐照技术在功率开关二极管制造工艺中的应用[J]电子工艺技术,1986(10).

共引文献4

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