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相对光强原理测量纳米级润滑薄膜厚度的研究 被引量:12

Investigation into Measuring Nanometer Lubrication Film Thickness by Relative Light Intensity Principle
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摘要 本文采用了相对光强原理测定润滑膜的厚度。增强了测量结果抗外界干扰的性能,提高了测量膜厚的分辨率。最后给出的实验结果表明利用该原理测量膜厚是可行的。 This paper uses the relative light intensity principle to measure lubrication film thickness,with increasing the ability of resistance to the outside disturbance in measurement and improving the resolution of measuring film thickness. The tested result shows that the measurement of film thickness by the principle is feasible.
出处 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 1995年第1期32-34,共3页 Lubrication Engineering
基金 国家自然科学基金资助项目
关键词 相对光强原理 纳米级润滑膜 膜厚测量 润滑膜 Relative light intensity principle, Nanometer lubrication film thickness measurement
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共引文献25

同被引文献102

引证文献12

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