SIMOX的制备及其重要应用

PKEPAKATION OF SIMOXAND ITS APPLICATIONS

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摘要本文介绍了注氧隔离（ＳＩＭＯＸ）的主要工艺设备及其在抗核加固、高温、高速等特种器件中的重要应用。 The article introduces SIMOX technique and its applications. The main e-quipments used in SIMOX are also reviewed.

作者颜亨迪

机构地区长沙电子工业部第

出处《微细加工技术》 1995年第2期67-71,共5页 Microfabrication Technology

关键词集成电路注氧隔离微电子器件 IC SIMOX

分类号 TN405.95 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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参考文献1

1陈南翔.SIMOX:氧离子注入隔离技术[J].微细加工技术,1991(3):58-64. 被引量：1

1施左宇,林成鲁,朱文化,邹世昌,李金华.退火温度对SOI材料与器件性能的影响[J].固体电子学研究与进展,1992,12(3):242-244.
2Bor-Yen Mao,肖辉杨.注氧绝缘体上硅结构CMOS器件特性[J].微电子学,1989,19(5):28-31.
3Dale G.platteter,郭树田.多次氧注入在制作SOI双极集成电路方面的应用[J].微电子学,1989,19(5):14-18.
4陈启兴,吴钦章,徐风民.嵌入式注氧仪控制系统设计[J].微型电脑应用,2006,22(8):31-32.
5崔恩仲.彩电特种器件GTO（GCS）代换方法[J].家电维修,1992(3):24-25.
6陈志君,张峰,王永进,金波,陈静,张正选,王曦.氧化增强注氧隔离工艺制备绝缘体上的硅锗[J].功能材料与器件学报,2006,12(1):1-4.
7崔恩仲.特种器件GTO的业余检验简法[J].家电维修,1993(6):28-28.
8夏庆锋,杨德仁,马向阳,阙端麟.SOI材料的缺陷及其表征[J].材料导报,2007,21(3):123-125.
9陆金忠.通信抗核加固[J].现代通信,1991(5):4-6.
10刘咸成,唐景庭,伍三忠,贾京英,郭建辉,刘求益.关于SOI(SIMOX)材料在注入过程中粒子污染的研究[J].集成电路应用,2003,20(3):53-55.

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