摘要
1 前言 由于现代科学技术的发展,为子保证产品质量和安全,对细微结构的物体要求无损检测。如工程用金属空心半圆球,外径300微米,内径280微米,壁厚10微米,仅有头发那么粗的球体,加工过程中要求对球体壁厚进行测量,观察壁的厚薄,以便改进工艺和进行修改。在现代长度测量中,对这种细微曲面壁厚的测量,无论是机械精测、超声测厚和涡流测厚,都是无法解决的。然而应用软X射线透照。配合显微放大技术,对测试的金属空心半圆球,则获得较好的结果,精度可达到±1μm。
出处
《物理测试》
CAS
1995年第5期36-37,共2页
Physics Examination and Testing
