化学气相沉积钽的动力学模型被引量：3

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摘要描述了化学气相沉积钽的动力学，推导出低温与高温下两种模型，实验值与理论值吻合较好。

作者徐学珍许效红张长鑫杜玮

机构地区北京科技大学理化系

出处《有色金属（冶炼部分）》 CAS 北大核心 1995年第4期26-29,39,共5页 Nonferrous Metals（Extractive Metallurgy)

关键词化学气相沉积动力学模型钽

同被引文献81

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有色金属（冶炼部分）

1995年第4期

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