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微机械技术及其发展被引量：1

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摘要微机械技术及其发展谢国章一、概述微机械是指尺寸在１毫米以下的微型机械。它主要用硅材料和半导体工艺制成，能与微电子集成和接口，能进入其它机械所不能进入的空间。由于它有这些特点，所以能在特殊环境中发挥独特的作用，比如能应用于医疗技术领域，解决许多前所不能...

作者谢国章

出处《中国科技论坛》 CSSCI 北大核心 1995年第1期54-57,共4页 Forum on Science and Technology in China

关键词微型机械机械工业技术发展

分类号 F407.403.6 [经济管理—产业经济]

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