用临时性设备满足半导体FAB质量

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摘要某半导体公司约定了一临时性的水处理系统，在其主要设备升级期间用以提供精处理回路的补水，工艺设计包括双通道反渗透（RO）、气体传输膜（GTM）、电去离子（EDI）、离子交换（IX）精处理和过滤。本报告提供的数据表明，补水的电导率、TOC、二氧化硅、溶解氧等水质指标始终优于设备规范。

作者 ROBERTA．ESCOBEDO 纪永亮

出处《工业水处理》 CAS CSCD 北大核心 2005年第12期12-12,共1页 Industrial Water Treatment

关键词半导体公司设备规范临时性 FAB 质量水处理系统工艺设计气体传输电去离子离子交换

1ROBERT,A．ESCOBEDO,JUDY,PUCKETT,刘国晶（编译）.用临时的服务设备满足半导体FBA的质量要求[J].水处理信息报导,2005(5):43-43.
2张乐川,蒋莉.江阴夏港电厂2×330MW机组工程设计特点[J].热机技术,2005(2):11-19.
3推介产品[J].可编程控制器与工厂自动化（PLC FA）,2005(11):141-144.
4李长柱,孙士玲.CO_2对EDI设备运行的影响及对策[J].华北电力技术,2007(3):18-20.
5陈耀容.电去离子(EDI)水处理技术在AP1000核电机组中的应用[J].净水技术,2013,32(6):84-87. 被引量：8
6锦屏——苏南特高压提速[J].四川水力发电,2008,27(A01):116-116.
7田丽.基于FAB理论的黔江畜牧产业发展分析[J].东方企业文化,2011(9X):74-75.
8Peter Singer.生产力的新焦点：精益制造[J].集成电路应用,2007,24(11):29-29.
9陈红军.葛洲坝换流站设备参数一览表[J].华中电力,1990,0(S2):165-175.
10贺元.三峡水电机组工艺技术与机电设备的创新和升级[J].东方电机,2011,39(6):17-20.

工业水处理

2005年第12期

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