微机电加速度计
Microelectromech Anical Systems Accelerometer
摘要
微机电加速度计是一种采用半导体批生产工艺加工微结构，并集成相关信号处理电路的微惯性器件。主要用来测量载体的加速度，并可通过积分，提供速度和位移的信息。与传统惯性器件相比，微机有偏置电压U0。在控制电压△U作用下，
出处
《导航与控制》
2005年第4期50-51,共2页
Navigation and Control
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