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阳极氧化温度对Al-Ti复合氧化膜结构和电性能的影响 被引量：3

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摘要 采用水解沉积-阳极氧化方法制备了高介电常数的Al-Ti复合氧化膜.通过膜溶解试验,膜成分AES深度分析及电性能测试,研究了恒电流阳极氧化过程中,阳极氧化温度对Al-Ti复合氧化膜的生长、结构及电性能的影响.结果表明,随着阳极氧化温度升高,Al-Ti复合氧化膜的形成速率增大,氧化膜的结构由两层转变为三层,I-V特性也发生显著变化,铝电极箔的比容有一最大值.50℃所形成氧化膜的局部击穿最明显,氧化膜的漏电流最小,而耐电压最高.
作者 陈金菊 杨邦朝 蒋美莲 冯哲圣
机构地区 电子科技大学微电子与固体电子学院
出处 《中国科学（E辑）》 CSCD 北大核心 2006年第3期251-258,共8页 Science in China(Series E)
基金 电子科技大学青年科技基金资助项目(批准号:L0801301JX04018)
关键词 阳极氧化 温度 Al-Ti复合氧化膜 结构 性能
分类号 TG179 [金属学及工艺—金属表面处理]
  • 相关文献

参考文献16

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共引文献17

同被引文献54

引证文献3

二级引证文献26

中国科学（E辑）
2006年 第3期

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