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MEMS器件的计算机辅助设计方法和仿真研究 被引量：1

The Research for MEMS Device Computer-aided Design Method and Simulation
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摘要 MEMS技术的进一步发展依赖于MEMS器件计算机辅助设计的发展和水平的提高。系统级仿真和多能量场耦合是MEMS器件计算机辅助设计的核心环节。提出了一种MEMS器件设计的参考方法,并对系统级仿真这一难点做了深入阐述。 The further development of MEMS technology relies on the development of MEMS CAD and the level enhancement, The thesis have introduced the design method of MEMS CAD. System-level simulation and Field-coupling is the key link of MEMS CAD. It emphatically introduce kinds of eommonsense methods to build macro-model and analyze field-coupling.
作者 杨晓光 姚伯威 张丽丽
机构地区 电子科技大学
出处 《微计算机信息》 北大核心 2006年第05Z期205-207,共3页 Control & Automation
关键词 MEMS CAD 系统级仿真 多能量场耦合 MEMS CAD System-level Simulation Field-coupling
分类号 TP391.72 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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参考文献2

二级参考文献5

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共引文献29

同被引文献7

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引证文献1

二级引证文献3

微计算机信息
2006年 第05Z期

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