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双辉光放电静电场数值模拟及场分布边角效应分析 被引量:2

Numerical Simulation of Static Electric Field in Double Glow Discharge and Edge Effect in Vacuum
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摘要 根据双辉光放电3个电极极板上的电势,利用边界元积分方程建立以面电荷密度为未知量的离散方程,通过求解线性方程组计算3个电极极板上面电荷的不均匀分布.由极板上的不均匀面电荷分布计算在真空状态下空间任意一点的电势和电场的空间分布,利用数值解对真空状态下双辉光离子渗金属实验装置场分布边角效应进行了分析. With electric potential of three electrodes, discrete equations of surface electric charge density was founded with boundary element integral equations. The distribution of surface electric charge on the electrodes was calculated by solving a linear equation group. Then the spatial distribution of the potential and the electric field are obtained. In vacuum, the edge effect of a double glow discharge was analysed.
出处 《计算物理》 EI CSCD 北大核心 2006年第3期350-354,共5页 Chinese Journal of Computational Physics
基金 国家自然科学基金(50374050) 北京市教育委员会科技发展计划(KM200510015003)资助项目
关键词 双辉光放电 数值模拟 边角效应 边界元积分方程 double glow discharge numerical simulation influence analysis of edge effect boundary element integral equations
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