大型金属超高真空系统检漏的特点和方法被引量：2

下载PDF

导出

摘要阐述大型系统超高真空获得及运行过程检漏工作的几个特点。对结构复杂的真空室，如何使用分子筛吸附泵与氦质谱检漏仪相结合提高检漏灵敏度，极大限度地找出泄漏的位置。还指出大型金属超高真空系统运行过程如何根据溅射离子泵离子流的数据，判断真空系统漏气及寻找漏点的方法。

作者蒋道满席金秀许炳管长应

机构地区中国科学技术大学国家同步辐射实验室

出处《真空科学与技术》 CSCD 1996年第2期148-150,共3页 Vacuum Science and Technology

关键词检漏技术分子筛吸附泵超高真空系统

同被引文献15

1毕龙生,冯毅明.国外泄漏检测标准的现状分析与借鉴[J].航天标准化,1999,0(4):46-50. 被引量：1
2朱小明.气压检漏仪原理及其应用[J].现代零部件,2005(8):48-50. 被引量：10
3D Edwards, Jr. The influence of Virtual Leaks on the Pressure in high and ultra-high Vacuum Systems [ J ]. Vacaum, 2012(4).
4顾伯勤.温度和伪泄漏率对真空静态升压法检漏的影响[J].南京化工大学学报,1998,20(4):25-29. 被引量：6
5郭等柱,王福云,白芝芳.钛泵-不锈钢超高真空系统静态升压特性研究[J].真空与低温,1999,5(4):238-241. 被引量：2
6李斌,刘玉魁.真空环境中受内压双重橡胶圈密封结构漏率的计算[J].真空与低温,2000,6(1):48-53. 被引量：12
7曹传民.奥氏体不锈钢储存罐焊接工艺分析[J].现代焊接,2012(5):64-64. 被引量：4
8廖旭东,杨丹,冯晓,陈涛,白国云.大型真空系统氦检漏率的快速准确检测方法[J].真空,2012,49(3):22-25. 被引量：4
9吴立民,张伟江,王云.大型空冷机组真空系统泄漏诊断新技术分析[J].河北电力技术,2012,31(5):5-6. 被引量：3
10陆长胜,于文泉,黄金祥,陆艳君,岳向吉,巴德纯.大型高真空容器的气体负荷分析[J].真空,2014,51(1):61-63. 被引量：2

1丁永生.真空设备泄漏检测技术[J].电子工艺技术,2009,30(4):226-229. 被引量：3
2陆长胜,岳向吉,巴德纯,石教澜,黄金祥.2000m^3高真空(10^(-3)Pa)系统漏率分析和安装工艺控制实践[J].重型机械,2015(5):50-53.

真空科学与技术

1996年第2期

内容加载中请稍等...