摘要
本文阐述了气相沉积技术的发展和应用,概括了此技术在我国的现状,分析并展望其未来的发展,还注意到了研究领域中的动向和趋势。
The development and use of Vapor deposition technology in our country are presented in this paper. The future development of this technology is analysed.
出处
《华北航天工业学院学报》
2006年第3期26-28,共3页
Journal of North China Institute of Astronautic Engineering
关键词
气相沉积
等离子
超硬覆层
vapor deposition
plasma
superhard coating
