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一种在芯片上带有补偿电路的通用硅压力传感器

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摘要本文提出了一种硅压阻式压力传感器校准和温度补偿的新思想,根据这种思想,把压阻惠斯顿电桥同可调的多晶硅电阻电路组合在同一芯片上,本文叙谜了这种传感器的设计、制作及其测最特性。

作者郑伟

出处《传感器技术》 CSCD 1990年第5期39-42,共4页 Journal of Transducer Technology

关键词硅压力传感器芯片补偿电路

分类号 TH812 [机械工程—精密仪器及机械]

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传感器技术

1990年第5期

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