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微波等离子体化学气相沉积金刚石膜 被引量:8

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摘要 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)是制备金刚石膜的一个重要方法,能制备出表面光滑平整的大面积均匀金刚石膜。文章概述了MPCVD制备金刚石膜的情况,介绍了MPCVD制备金刚石膜装置的典型类型及其特点。在国内研制成功天线耦合石英钟罩式MPCVD制备金刚石膜装置,并在硅片上沉积出大面积均匀的优质金刚石膜。这种MPCVD装置对金刚石膜的开发应用具有重要意义。
出处 《物理》 CAS 北大核心 1996年第11期688-696,共9页 Physics
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