用于力和振动测量的压阻式厚膜传感器被引量：1

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摘要用于力和振动测量的压阻式厚膜传感器Ｄ·Ｃｒｅｓｃｉｎｉ等１．简介传感器是任一测量和控制系统中的重要组成部分。当前对传感器的需求日趋广泛，而且突出反映在对应用于计算机控制系统的具有稳定、可靠特点的集成传感器的需求上。在种类繁多的传感器技术中，厚膜技术（...

作者于梅

出处《现代计量测试》 1996年第1期61-63,50,共4页 Modern Measurement and Test

关键词力振动测量压阻式厚膜传感器

同被引文献3

1陈丽洁,杨士莪.压阻式新型矢量水听器设计[J].应用声学,2006,25(5):273-278. 被引量：14
2李来风,潘晓晴.稀土氧化物掺杂对SnO_2基气体传感器材料性能的影响(英文)[J].材料研究学报,2000,14(1):42-46. 被引量：9
3乔慧,刘俊,张斌珍,张文栋,熊继军,薛晨阳.一种新型压阻式硅微仿生矢量水听器的设计[J].传感技术学报,2008,21(2):301-304. 被引量：24
4曹乐,樊尚春,邢维巍.MEMS压力传感器原理及其应用[J].计测技术,2012,32(S1):108-110. 被引量：6
5韩宝国.Piezoresistive Response Extraction for Smart Cement-based Composites/Sensors[J].Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science),2012,27(4):754-757. 被引量：2
6刘波,李平,丁立莉,刘卿,李鹏.压阻式真空传感器校准技术研究[J].真空与低温,2014,20(2):94-97.
7刘志伟,童朝阳,穆晞惠,郝兰群,刘冰,张金平,高川.压阻式微悬臂梁免疫传感器检测小分子T-2毒素及动力学分析[J].纳米科技,2015,12(6):33-38.
8谢斌,薛晨阳,张文栋,熊继军,张斌珍,陈尚.硅微仿生矢量水声传感器研制[J].传感技术学报,2006,19(05B):2300-2303. 被引量：19
9赵玉龙,赵立波,蒋庄德.基于SOI技术梁膜结合高过载压阻式加速度计研究[J].传感技术学报,2006,19(05B):2171-2173. 被引量：7
10久茂公司： JUMO dTRANS p32压力变送器[J].流程工业,2013(11):83-83.

现代计量测试

1996年第1期

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