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氧化铟锡薄膜材料开发现状与前景
被引量：
14
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摘要
综述了氧化铟锡（ＩＴＯ）薄膜透明导体材料的结构与光、电特性，分析了研制与开发现状。
作者
李玉增
赵谢群
机构地区
北京有色金属研究总院
出处
《稀有金属》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第6期455-458,共4页
Chinese Journal of Rare Metals
关键词
ITO薄膜
薄膜
物理气相沉积
分类号
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
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