用透表法研究硅化钯二极管SBD与EBIC法的比较

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作者胡问国肖玲林一平梁竹关李亚文李萍徐晓华王建周开邻 Rau E I

机构地区云南大学物理技术学院云南大学信息学院昆明物理研究所莫斯科大学

出处《电子显微学报》 CAS CSCD 2006年第B08期142-143,共2页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society

基金国家自然科学基金NSFC资助项目(No.60227102) 国家科学技术部973前期项目资助

关键词肖特基势垒二极管 IC法硅化 SBD 无损检测方法钯结特性 P型硅

分类号 TN315 [电子电信—物理电子学]

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参考文献1

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