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东南大学MEMS教育部重点实验室

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摘要 1.简介 东南大学1983年就开始了集成传感器的研究,并于1985年在欧洲固态电子器件会议《ESSDERCφ88,Germany,p.88》报道了集成MOS流量传感器的研究结果:1986年开始了硅片直接键合技术研究.并于1987年在——《Applied Surface Science,30(2),397(1987)》报道了硅键合材料的测试结果;1987年开始了微传感器CAD研究,并于1988年在《Solid State Electronics,31(2),237(1988)》报道了MOS磁电耦合的计算机模拟结果。
出处 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期F0002-F0002,共1页 半导体学报(英文版)
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