摘要
讲述了HMDS预处理工艺过程,HMDS预处理系统的优越性及该系统的工作原理与结构。
Describes the course of HMDS pre-process , the advantage of HMDS pre-process system, describes the working theory and system structure of this system.
出处
《电子工业专用设备》
2006年第10期70-72,共3页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
六甲基二硅氮烷
涂胶
预处理
疏水
Hexamethyldisilazane
Resist coating
Pre-process
Hydrophobic
