摘要
本文介绍了微系统及其技术的一般含义，并对微系统的典型结构作了详细阐述，最后对其应用前景进行了简要分析。
the paper introduces in general the meaning of the microsystems and its technologies, summarizes a typical structure of the microsystems, and at last analyses the applications of the microsystems technologies; briefly.
出处
《微细加工技术》
1996年第3期1-5,共5页
Microfabrication Technology
关键词
微系统
微细加工
微驱动器
集成电路
microsystem technologies
microfabricatiaton
micro-sensor
micro-actuator
