摘要
半导体制造工艺复杂,具有重入特性,而生产所用的设备、所生产的产品类型都会影响晶圆生产的良率,进而影响企业的生产率和利润。因此,将数据挖掘技术引入半导体制造管理,通过对质量异常情况的分析,找出异常原因,提出解决方案。
The complex process, the unique reentrance characteristics, the complicated equipment used and the various product category will all affect the yield rate of wafer manufacturing, even the productivity and business profit. The aim is to introduce data mining into semiconductor manufacturing management, to analyze and find the cause of yield rate reduction and finally to promote an improving solution.
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第12期892-895,899,共5页
Semiconductor Technology
基金
教育部博士点基金项目(20050252008)
上海市重点学科(T0502)资助
关键词
半导体
数据挖掘
良率
semiconductor
data mining
yield rate
