期刊文献+

椭偏仪的原理和应用 被引量:12

The Principle and Application of Ellipsometery
下载PDF
导出
摘要 椭偏术是一种利用线偏振光经样品反射后转变为椭圆偏振光这一性质以获得样品的光学常数的光谱测量方法.椭偏仪主要用来测量薄膜材料或块体材料的光学参数和厚度的仪器. Ellipsometery is a method that utilizes the property of slight elliptical polarization of reflecting light. Spectroscopic ellipsometry is used to measure the optical parameter and thickness of film material or thick material.
作者 余平 张晋敏
出处 《合肥学院学报(自然科学版)》 2007年第1期87-90,共4页 Journal of Hefei University :Natural Sciences
基金 贵州省大学生创业基金项目(701059101)资助
关键词 椭偏仪 光学参数 薄膜 偏振Drude模型 spectroscopic ellipsometry optical constant spectra thin film polarization Drude model
  • 相关文献

参考文献3

  • 1[1]Bruggman D A G.Berechnung Verschiedener Physikalischer Konstanten Vorheteroenen Substanzen[ J ].Ann Phys Leipzig,1935,24:636-664.
  • 2[2]Fouhi A R,Bloomer I.Optical Dispersion Relations for Amorphous Semiconductors and Amorphous Dielectrics[ J ].Phys Rev B,1986,34:7018-7029.
  • 3[3]Arwin H,Martensson J,Jansen R.Line-shape Analysis of Ellipsometric Spectra on Organic Flms[J].Appl Opt,1992,31:6707-6715.

同被引文献71

引证文献12

二级引证文献38

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部