摘要
位移传感器(直线位移传感器线和角位移传感器)及其数字显示仪表(数显表)组成的位移测量装置,主要用于机床、量仪的坐标位置测量显示;位移传感器及其后续电路也作为数控系统坐标的位置反馈,它是数控机床和仪器仪表的重要功能部件。随着位移传感器技术的发展与进步,促进了反馈控制系统的发展,促进了量仪和数显测量系统的发展和数控机床的发展。50年来位移传感器的测量分辨力也从5μm提升到1nm,机械加工精度也从1μm提高No.01μm。
出处
《世界制造技术与装备市场》
2007年第2期114-118,共5页
World Manufacturing Engineering & Market