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不锈钢管道溅射镀TiN薄膜实验研究 被引量：4

Experimental studies on TiN film sputter coating on the inner face of stainless steel pipe
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摘要 在不锈钢管道溅射镀膜装置上，通过对不锈钢管道真空室进行溅射镀TiN膜的反复多次实验及对镀膜实验结果的分析，得到了一整套适用于加速器管道真空室内壁溅射镀TiN膜的表面处理参数．实验结果表明，在压强为80～90Pa、基体温度为160～180℃的镀膜参数下，不锈钢管道内壁能获得符合加速器物理要求的TiN薄膜． An analysis of experiments of TiN coating on pipe surface was conducted employing the splutter coating system, and suitable parameters of vacuum chamber surface TiN coating was obtained. The experiment results show that TiN film on chamber surface with proper characteristics can be ～90 Pa and 160～180℃ of coated surface temperature.
作者 王勇 张耀锋 尉伟 王建平 范乐 蒋道满 朱存宝 刘祖平
机构地区 中国科学技术大学国家同步辐射实验室
出处 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期509-513,共5页 JUSTC
基金 国家自然科学基金(10245002)资助
关键词 直流溅射 TIN膜 真空室镀膜 表面处理 DC sputtering TiN film vacuum chamber coating surface treatment
分类号 TB741 [一般工业技术—材料科学与工程] TN305.92 [电子电信—物理电子学]
  • 相关文献

参考文献11

  • 1Guo Z Y,Liu Y D,Qin Q,et al.The studies of electron cloud instability[C]//Proceedings of APAC 2004.Gyeongju,Korea,2004:44-48
  • 2Furman M A,Pivi M.Updated electron-cloud simulation results for the Large HadronCollider LHC[C]//Proceedings of the 2001 Particle Accelerator Conference.IEEE,2001,3:1 898-1 900.
  • 3Zimmermann F,CERN G.The electron cloud instability:Summary of measurements and understanding[J].Proceedings of the 2001 Particle Accelerator Conference.IEEE,2001,1:666-670.
  • 4Harkay K,Rosenberg R,Guo Z Y,et al.Survey of recent results on electron cloud effects in photon machines[C]//Proceedings of the 2001 Particle Accelerator Conference.IEEE,2001,1:671-675.
  • 5Le Pimpec F,Kirby R E,King F,et al.Properties of TiN and TiZrV thin film as a remedy against electron cloud[J].Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A,2005,551:187-199.
  • 6He P,Hseuh H C,Mapes M,et al.Outgassing and surface properties of TiN coated SNS ring vacuum chambers[C]// Proceedings of the 2003 Particle Accelerator Conference.IEEE,2003,2:788-790.
  • 7江涛,马敏庄.氮化钛的制备及表征[J].分析测试学报,1999,18(4):46-48. 被引量：15
  • 8张涛,赵高凌,韩高荣.TiN镀膜玻璃的常压化学气相沉积法制备及其光电性能研究[J].真空科学与技术学报,2005,25(4):309-311. 被引量：8
  • 9NIST.NIST XPS Database[EB/OL].[2006-12-10].http://srdata.nist.gov/xps/Bind_E.asp.
  • 10He P,Hseuh H C,Mapes M,et al.Development of titanium nitride coating for SNS ring vacuum chambers[J].Proceedings of the 2001 Particle Accelerator Conference.IEEE,2001,3:2 159-2 161.

二级参考文献22

  • 1李运康,石舜森,黄拔凡.钛及其合金的氮化[J].稀有金属,1989,13(2):149-153. 被引量：1
  • 2赵阳 吴享南 等.TiN粉末的制取[J].稀有金属,1985,9(2):11-11.
  • 3Rie K T.钛材表面等离子钛化[J].金属,1983,37(10):1003-1003.
  • 4张克hong 蔡作乾.新型代金装饰材料氮化钛的研制[J].物理,1984,13(12):732-732.
  • 5Rie K T.钛及其合金的等离子氮化[J].国外稀有金属,1984,4(10):41-41.
  • 6李运康，稀有金属，1989年，13卷，2期，1525页
  • 7尹元根，多相催化剂的研究方法，1988年，134页
  • 8赵阳，稀有金属，1985年，9卷，2期，11页
  • 9Rie K T，国外稀有金属，1984年，4卷，10期，41页
  • 10张克--，物理，1984年，13卷，12期，732页

共引文献24

同被引文献50

  • 1蒋观沅.钢板的真空溅射镀膜[J].轧钢,1994,11(3):62-62. 被引量：1
  • 2张耀锋,王勇,尉伟,王建平,范乐,蒋道满.不锈钢管道内壁镀TiN薄膜技术及其真空性能的研究[J].核技术,2006,29(3):161-164. 被引量：6
  • 3王勇,尉伟,张耀峰,等.用于管道内壁面的溅射镀膜装置[P].中国专利:2869034Y,2005-07-07.
  • 4Seiki S, Yuki U. Extend anode effect in coaxial magnetron pulse plasma for coating the inside surface of- narrow tubes [J]. Japanese Journal of Applied Physics, 1999,38: 4342-4345.
  • 5Hiroshi. Fujiyama.Inner coating of long-narrow tube by plasma sputtering [J]. Surface and Coatings Technology, 2000,131 : 278-283.
  • 6Fujiyama H,Tokitu Y. Ceramics inner coating of narrow tubes by a coaxial magnetron pulsed plasma [J]. Surface and Coatings Technology, 1998, 98:1467-1472.
  • 7Uchikawa Y, Sugimoto S. Titanium coating of the inner of alm long narrow tube by double-ended anode coaxial magnetron-pulsed plasmas [J]. Surface and Coatings Technology, 1999,112:185-188.
  • 8Konstantin K.Tzatzov.Method and apparatus for magnetron sputtering[P]. US:6436252 B1, 2002-08-20.
  • 9Liu A, Wang X F, Chen Q C. Inner surface ion implantation using deflecting electric field [J]. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, 1998, B 143: 306-310.
  • 10Liu B, Liu V Z, Chen D J. A new method for inner surface modification by plasma source ion implantation (PSII)[J], Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, 2001, B 184: 644-648.

引证文献4

二级引证文献4

中国科学技术大学学报
2007年 第4期

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