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纳米金刚石薄膜制备的现状与展望被引量：1

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摘要与微米金刚石薄膜不同，纳米金刚石薄膜晶粒度小，表面平滑。从发展水平来看，目前国内外纳米金刚石薄膜的研究，还处于基础性研究阶段，纳米金刚石薄膜的应用刚刚起步，距产业化还有较大距离。但是，由于纳米金刚石薄膜具有众多的优异性能，正因为如此，可望在众多的高技术领域中得到广泛应用。

作者王光祖

出处《磨料磨具通讯》 2007年第5期1-3,9,共4页

关键词纳米金刚石薄膜化学气相沉积

分类号 O484.1 [理学—固体物理]

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磨料磨具通讯

2007年第5期

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