细丝直径高精度衍射测量的研究

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摘要利用线阵CCD的空间细分作用测量细丝衍射的暗纹间距S,从而实现细丝直径的高精度测量。本文采用的加权数据处理方法不仅有效地减小了CCD的光响应非均匀性和衍射光强分布的随机波动对测量准确度的影响,而且可以有效减小因S不等于CCD像元中心距的整数倍所引起的细分误差。文中还分析了由物镜焦距变化所引起的系统误差对测量的影响。对一级量针的测量实验表明其测量准确度达±0.5%。

作者张凤生张立保

机构地区青岛大学机电工程学院

出处《计量技术》 2007年第6期32-35,共4页 Measurement Technique

关键词细丝直径衍射测量 CCD

分类号 TH711 [机械工程—测试计量技术及仪器]

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