格兰达“晶圆激光标刻机”IC技术

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摘要 2005年，我国消耗芯片（IC）约占全球1754亿美元的20％份额，首次超过美国和日本，成为全球第1大IC消费市场。长期从事技术装备研发和制造的格兰达科技集团，自行研发的“晶圆激光标刻机”等一系列IC核心装备技术，在国际上占据了领先地位，为我国装备业的发展走出了一条科技创新之路。

出处《光机电信息》 2007年第6期62-62,共1页 OME Information

关键词激光标刻机 IC技术晶圆技术装备科技创新消费市场装备技术

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光机电信息

2007年第6期

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