IC工艺条件萃取程序的结构设计

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摘要介绍一个用于集成电路工艺条件自动萃取的程序结构。通过这个算法结构，半导体集成电路工艺模拟软件ＳＵＰＲＥＭ和计算机的作用被充分发挥。在这篇论文里，介绍了程序的组成和每个程序模块的功能，讨论了工艺条件调整的内容。

作者李伟华

机构地区东南大学微电子中心

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第3期48-51,共4页 Semiconductor Technology

关键词 IC 工艺条件程序结构半导体集成电路

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半导体技术

1997年第3期

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