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摘要光纤激光器因其独特的优势，已经用于处理电介质、玻璃和半导体材料，比如聚酰亚胺的处理速度达到了10m／s，ITO的处理速度达到了25m／s。进一步提高精度可以还可以使处理速度比普通Q开关激光器高5～10倍。未来将要代替大尺寸的氩离子光源。现有的低功率的UV皮秒激光器，以及用于微材料处理的UV纳秒激光器。

作者朝阳

出处《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2007年第7期15-15,共1页 Laser & Optoelectronics Progress

关键词光纤激光器开发 Q开关激光器半导体材料皮秒激光器速度比聚酰亚胺材料处理

分类号 TN248 [电子电信—物理电子学]

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激光与光电子学进展

2007年第7期

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