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氮化铝陶瓷的微波烧结研究 被引量:9

MICROWAVE SINTERING OF AlN CERAMICS
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摘要 利用TE103单模腔微波烧结系统对SHS制备的AlN粉(添加3%(mas)Y2O3)的加热烧结特征,烧结样品的显微结构进行了研究。通过适当的保温措施和烧结工艺实现了AlN陶瓷的微波快速烧结。实验发现在相对较低的测量温度(1600℃)保温4min,样品可达到98.7%的理论密度,SEM和TEM分析表明,试样内部晶粒细小。 Microwave sintering behavior of SHS prepared AlN powders is presented in the paper.AlN samples with 3% Y 2O 3 as additives can be rapidly sintered to 98 7% TD at 1600℃ by proper packing powder and sintering method in a single mode cavity operating at 2 45 GHz within 5~7 minutes.The results show that sintered samples have high density,relatively finer grain size and uniform microstructure.
出处 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第1期89-95,共7页 Journal of The Chinese Ceramic Society
关键词 氧化铝陶瓷 微波烧结 烧成 陶瓷 aluminum nitride,ceramics,microwave sintering
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同被引文献158

引证文献9

二级引证文献125

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