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微电子刻蚀工艺加工新型光栅项目研究通过验收

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摘要近日，由中科院上海光机所承担的上海市国际科技合作基金（AM基金）“微电子刻蚀工艺加工新型光栅“项目在上海通过了验收。专家组对项目组采用石英玻璃研制出高性能偏振分光器，创造性的完成各项项目指标给予了高度评价。

出处《传感器世界》 2007年第10期47-47,共1页 Sensor World

关键词工艺加工微电子光栅刻蚀国际科技合作偏振分光器上海市石英玻璃

分类号 TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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传感器世界

2007年第10期

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