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自由电子激光器的未来工业应用 被引量:1

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摘要 因自由电子激光器具有卓越的特点,如高效率,短脉冲及波长可调,故在工业上有广阔的应用前景。在不远的半涞,集成电路装配,包括量子处理和光刻可更多地借助短波自由电子激光器,光化学也可依赖工作在紫外到远紫外区的自由电子激光器。
出处 《强激光技术进展》 1997年第5期36-41,共6页
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