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掺Sm_2O_3的SnO_2纳米粉体对C_2H_2气敏特性的研究

Preparation and C_2H_2 Sensing Characteristics of Sm_2O_3-Doped SnO_2 Gas Sensors
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摘要 用化学沉淀法制备了SnO2纳米材料,利用XRD和SEM对合成产物进行了表征.采用旁热式结构制成了以SnO2为基体材料,掺杂Sm2O3的气体传感器.通过元件对C2H2气敏特性的测试表明:Sm2O3的掺杂可以明显地提高SnO2气敏材料对C2H2气体的灵敏度,当工作温度为180℃,C2H2浓度为1000ppm时,元件的灵敏度为64,响应恢复时间分别为3和20s.讨论了不同相对湿度对元件气敏特性的影响. Sm2O3-doped SnO2 nano powders are prepared with chemical deposition and characterized by X-ray diffraction and scanning electron microscopy. The studies reveal that the addition of Sm^2 O3 improves the C2H2 sensing properties of the SnO2 gas sensor. The best performance of the sensor is obtained at an operating temperature of 180℃. The sensor exhibits high sensitivity (64 to 1000 ppm vol. ratio C2H2) and rapid response and recovery (about 3 and 17s, respectively). The effect of humidity on the sensor's response to C2 H2 is also investigated.
出处 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期319-323,共5页 半导体学报(英文版)
基金 吉林省科技厅(批准号:20060528) 低维材料及其应用技术教育部国家重点实验室开放基金(批准号:KF0706)资助项目~~
关键词 SNO2 SM2O3 C2H2 气敏元件 纳米粉体 SnO2 Sm2O3 C2H2 gas sensor nano powder
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参考文献14

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