摘要
在电容式微加速度计系统中,零偏是一个普遍存在的问题。针对这个问题设计了一种采用二进制权重的微小电容阵列,引入了基于电荷的电容测量方法并对其进行了仿真验证,验证表明这种电容测量方法具有约0.01fF 的测量精度。采用该种电容测量方法对微小电容阵列进行仿真,在线宽为 0.18 um 的一层多晶硅六层金属的 CMOS 工艺下,取得了 1.23% 的相对精度,表明这种方法是可行性。
To overcome the bias problem existed in micro accelerometer systems, a binary-weighted micro- capacitance array was designed. The method of charge based capacitance measurement （CBCM） was introduced, and verified to be about 0.01fF in precision. The simulation was made on micro-capacitance array using CBCM with 0.18μm one-ploy six-metal CMOS process, and a comparative precision of 1.23% is achieved which proved that the method of micro-capacitance array is feasible.
出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
2008年第1期86-89,共4页
Journal of Chinese Inertial Technology
基金
国家十一五预研基金资助项目(51308050208)
关键词
微小电容阵列
基于电荷的电容测量方法
补偿
仿真
Micro-capacitance array
charge based capacitance measurement （CBCM）
compensate
simulate
