摘要
介绍由俄国传感器专家佐托夫发明的一种新型半导体传感器佐托夫元件（Ｚｏ－ｔｏｖＳｅｎｓｏｒ）。简要叙述了该元件的工作原理、性能参数、制造工艺和实际应用。与通常的传感器（如霍尔元件）相比，无需前置放大器和Ａ／Ｄ转换器，就能直接输出大幅度的脉冲数字信号。它体积小、功耗低、抗干扰能力强，可实现非接触式测量，并可制成测量电场、磁场、温度、湿度、压力、光强甚至α、β、γ射线等各种物理量的系列产品。其性能之优、用途之广，是过去的传感器无法相比的。
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1997年第6期22-24,共3页
Semiconductor Technology
