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基于音圈电机驱动的精密定位系统

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摘要 对研制用于快刀加工的精密定位系统,分析其数学模型,研究其控制策略。该系统采用音圈电机直接驱动,空气静压导轨支撑,光栅尺实时检测。所设计的系统达到50 mm行程上0.5μm定位精度以及100 Hz以上的响应速度。
出处 《机械制造》 2008年第9期18-20,共3页 Machinery
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  • 1谢峰.表面形貌测量技术及三维弹头痕迹检测系统的研究.华中理工大学博士论文[M].,1999,12..
  • 2杨叔子 杨克冲.机械工程控制基础[M].武汉:华中理工大学出版社,1996..
  • 3罗敢 王岳环 等.光刻伺服机光头自动调焦控制系统的设计[J].计算机应用研究,1999,2.
  • 4吴麒.自动控制原理[M].北京:清华大学出版社,1987..
  • 5Jyh-Chyang Renn,Experimental and CFD study on the mass flow-rate character of gas through orifice-type in aerostatic bearings,Tribology International 37(2004).
  • 6Jwpowell.空气静压轴承设计[M].北京:国防工业出版社,1978..
  • 7刘晓军,蒋向前,肖少军,谢铁邦,李柱.曲面形貌轮廓仪传感器的机构设计[J].现代计量测试,1997,5(3):19-23. 被引量:3

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