摘要
提出了一种基于DSP的薄膜疵点在线检测方法,该方法用多个线阵CCD摄像机同步采集薄膜表面的图像,通过DSP系统对图像进行处理,以得到薄膜表面质量情况。对其中的高速CCD信号数字转换电路、外同步触发信号的产生、CCD控制以及与DSP间的数据通讯接口、DSP处理的软件设计等内容进行了讨论。该系统速度快,精度高,实时性好,可有效地检测到薄膜表面的各种缺陷。
A method for online defect inspection of the pellicle is put forward. A few linear CCDs are used to capture images of the pellicle surface simultaneously. These captured images are then processed with DSP technique in order to clearly obtain the quality conditions of the pellicle. We discuss the transition circuit for CCD high speed digital signal, the produce for the Exsync signal, CCD control and communication interface with DSP, and software design based on DSP. The system can accurately, timely and effectively check out various defects over the pellicle surface.
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第2期293-296,共4页
Chinese Journal of Sensors and Actuators
基金
国家自然科学基金重点项目资助(60534020)
国家自然科学基金资助(60775052)
教育部科技创新工程重大项目培育资金项目资助(706024)
上海市国际科技合作基金项目资助(061307041)
上海市人才发展资金资助(001)
上海市领军人才后备人选专项资金资助
