氧化锌薄膜的制备技术被引量：2

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摘要介绍了氧化锌薄膜的制备方法,主要有物理和化学两种方法。物理方法有:分子束外延法(MBE),脉冲激光溅射沉积法(PLD)以及磁控溅射法;化学方法有:溶液镀膜法和各种化学气相淀积(CVD)。重点讨论了磁控溅射法的优缺点及展望。

作者李勇马书懿李锡森蔡利霞

机构地区西北师范大学物理与电子工程学院

出处《甘肃科技》 2009年第6期72-73,共2页 Gansu Science and Technology

基金国家自然科学基金资助项目(10874140) 甘肃省自然科学基金资助项目(0710RJ2A105)

关键词脉冲激光沉积化学气相淀积磁控溅射法

同被引文献10

1崔舒,沈慧娟.不同退火温度下ZnO薄膜结构及光学特性的表征[J].通化师范学院学报,2009,30(4):37-38. 被引量：2
2张覃轶,谢长生,李登峰,张顺平,柏自奎.基于纳米ZnO气体传感器阵列的乙醇、丙酮、苯、甲苯、二甲苯的识别研究[J].传感技术学报,2006,19(3):552-554. 被引量：19
3程晓丽,徐英明,蔡庄,霍丽华,高山,赵辉.ZnO纳米薄膜的制备及其气敏性质研究[J].无机化学学报,2008,24(1):157-160. 被引量：9
4高雁.影响真空蒸发镀膜膜厚的因素分析[J].太原科技,2008(9):78-79. 被引量：6
5晏伯武.P型氧化锌薄膜的制备[J].中国陶瓷,2009,45(4):13-17. 被引量：2
6冉德超,张传斌,张玮,傅敏.溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备纳米氧化锌的研究进展[J].重庆工商大学学报（自然科学版）,2009,26(2):113-116. 被引量：7
7邓允棣.氧化锌掺杂的研究进展[J].科协论坛（下半月）,2007(7):50-51. 被引量：3
8吕红辉,汤钧,白玉白,钱新明,董绍俊.TiO_2纳米晶薄膜电极的瞬态光电流特性[J].吉林大学自然科学学报,2001(3):99-102. 被引量：8
9梅增霞,张希清,衣立新,韩建民,赵谡玲,王晶,李庆福.ZnO薄膜的制备和发光特性的研究[J].发光学报,2002,23(4):389-392. 被引量：33
10王林,张覃轶,祝柏林,王爱华,谢长生.激光烧结纳米ZnO气敏传感器制备及其气敏特性研究[J].传感技术学报,2003,16(4):491-494. 被引量：12

1米日古力.莫合买提,阿斯娅.克里木,帕提曼.尼扎木丁,阿布力孜.伊米提.溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜/锡掺杂玻璃光波导及其气敏性研究[J].化学学报,2011,69(15):1840-1844. 被引量：4
2曾永平,陶淑芬,徐利兵,杨红磊.热蒸发制备Zn/ZnO薄膜的实验研究[J].科技信息,2011(23):41-41.

1张丽萍.气敏传感器研究新进展[J].吉林工商学院学报,2012,28(2):91-94. 被引量：4
2蒋里锋,冯魏良,黄培.溶胶-凝胶法在聚酰亚胺衬底上制备c轴取向ZnO薄膜[J].高等学校化学学报,2013,34(3):532-537. 被引量：6
3杜斌,童朝阳,穆晞惠,刘志伟,汪将,刘帅,丁志军.基于复合光波导的生化传感器应用研究进展[J].材料导报,2017,31(21):32-36. 被引量：2
4姑丽各娜·买买提依明,热娜古丽·阿不都热合曼,阿布力孜·伊米提.光波导传感器在气体检测中的应用进展[J].传感器技术与应用,2013,1(1):1-8. 被引量：1

1王玲玲,于昕宇,张蕾,刘琳.透明导电氧化物薄膜的制备方法研究[J].渤海大学学报（自然科学版）,2011,32(3):241-244.
2M. D. Lange,S. Sivananthan,X. Chu,J. P. Faurie,陈林,李挥东.在GaAs(001)衬底上的分子束外延生长及直径2英寸Hg_(xl)Cd_xTe膜的特性[J].应用光学,1990,11(6):21-24.
3董祥明,刘世炳,宋海英.飞秒激光溅射沉积法制备碳薄膜[J].中国激光,2015,42(8):241-245. 被引量：3
4钟红梅.自旋电子学研究[J].红外,2004,25(3):19-22. 被引量：1
5高能物理学[J].中国学术期刊文摘,2008,14(7):46-47.
6缪同群.采用反应蒸发和反应离子镀膜法制备的薄膜的微结构分析[J].光机电信息,1996,13(1):13-20.
7徐小华,李群,游泳,刘义保.非晶SiO_xN_y薄膜的发光特性研究[J].现代制造工程,2010(5):63-66.
8史向华,刘小兵.Zn_(1-x)Cd_xSe/ZnSe 应变层超晶格光学特性(英文)[J].长沙水电师院学报（自然科学版）,1999,14(4):355-357.
9Yunyan Liu,Shanying Yang,Gongxiang Wei,Jiaoqing Pan,Yuzhen Yuan,Chuanfu Cheng.Infuence of Substrate Temperature on Stress and Morphology Characteristics of Co Doped ZnO Films Prepared by Laser-Molecular Beam Epitaxy[J].Journal of Materials Science & Technology,2013,29(12):1134-1138. 被引量：3
10蔡旭浦,李万程,高福斌,景强,吴国光,张宝林,杜国同.In插入层对硅衬底外延InN晶体质量和光学特性的影响[J].发光学报,2014,35(1):96-100.

甘肃科技

2009年第6期

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