薄膜光学理论

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摘要 O484.4/O482.31 95021071用等离子体增强化学汽相沉积方法制备纳米晶粒硅薄膜光致发光=Photoluminescence from nano—crystallites of silicon films preparaed byPECVD[刊,中]/刘湘娜,吴晓薇,鲍希茂,何宇亮(南京大学物理系,固体微结构国家重点实验室)∥物理学报.—1994,43(6).—985—989报道用高氢稀释硅烷为反应气源。

出处《中国光学》 EI CAS 1995年第2期54-54,共1页 Chinese Optics

关键词化学汽相沉积等离子体增强纳米晶粒可见光致发光硅薄膜微结构国家重点实验室氢稀释物理学报南京大学

分类号 O484.41 [理学—固体物理]

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