期刊文献⁺

任意字段

题名或关键词

题名

关键词

文摘

作者

第一作者

机构

刊名

分类号

参考文献

作者简介

基金资助

栏目信息

硅基力敏传感器及其工业应用（上）

下载PDF

导出

摘要一硅基力敏传感器的现状硅基力敏传感器是指以硅（单晶或多晶）材料为基础，利用MEMS工艺，其特性参数受外力或应力变化而明显变化的敏感元件制成的传感器。这里的力包括重力、拉力、压力、力矩、压强等物理量。力敏传感器包括力、压力、差压、液位传感器等。

作者徐开先

机构地区沈阳仪表科学研究院教授级高级工程师

出处《世界仪表与自动化》 2009年第4期18-21,共4页 International Instrumentation & Automation

关键词传感器硅基力敏传感器力敏元件

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN304.12 [电子电信—物理电子学]

引文网络
相关文献

1徐开先.硅基力敏传感器及其工业应用（下）[J].世界仪表与自动化,2009,13(5):33-35.
2Liu.,CY,贾铭.测量液体差压的双线电阻探测器[J].国外计量,1990(6):27-29.
3袁璟.用于力敏传感器的简易双面光刻装置[J].半导体杂志,1991,16(4):51-52.
4Luca Bruno.对基于力敏元件的天平系统偏移进行补偿的电路[J].电子设计技术 EDN CHINA,2007,14(11):118-118.
5霍泰岷.扩散硅力敏传感器初探[J].红讯半导体,1989(3):6-12.
6李永亮.单脉冲差模体制在低轨卫星跟踪中的应用[J].无线电工程,2006,36(3):42-44. 被引量：7
7朱长纯,王海笑.一种新型绝对高真空压力规结构的设计[J].西安交通大学学报,1995,29(1):27-33. 被引量：1
8李昕欣,杨恒,鲍敏杭,沈绍群.硅多层微机械结构无掩模腐蚀新技术及在力敏结构制作中的应用[J].半导体技术,1998,23(3):6-9.
9袁璟.用于力敏传感器研制的简易双面光刻装置[J].电子器件,1990,13(4):46-47.
10陈建群,马以武.基于MSC1210的悬臂梁式厚膜力敏传感器的研制[J].工业仪表与自动化装置,2006(3):66-68.

世界仪表与自动化

2009年第4期

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...

;

使用帮助返回顶部